#
בלוג

בקרת זיהום סביבתי משטח (SHCC) בייצור מעגלים משולבים הסרת פגמים היא המפתח לשיפור התפוקה

  • 2021-11-17 10:09:27

מאמר זה משתרע מהחשיבות והדחיפות של קידום הפיתוח של תעשיית ה-IC לטכנולוגיית המפתח של שליטה בבקרת זיהום סביבתי של IC yid-wafers (SECC). זיהום מולקולרי מוטס (AMC) הוא גורם חשוב הגורם לפגמים אקראיים בפרוסים, והשפעה זו תהפוך חמורה יותר עם הקטנת רוחב קו הפרוסות. במאמר זה, דרישות הטכנולוגיה לבקרת זיהום סביבתי משטח מ-2021 עד 2027 מפורטות לפי לפי ריכוז הבקרה המותר של מזהמי אוויר שונים בכל תהליך של תהליך ייצור, הוא מתבטא ב-ppTV. בגלל תקן הבקרה המחמיר, נדרש תכנון של מערכת אוורור בקרת זיהום כימי בחדרים נקיים ובסביבות מבוקרות הקשורות, בחירת אוויר מסנן כימי, דרישות הגדרה וביצועים. זה חייב להתבצע בקפדנות על פי התקן. בנוסף, מוצגים מדדי הביצועים של מסנן כימי אוויר, מתקן בדיקה של מסנן ונוהל בדיקה בתקן ASHRAE 145.2-2016 ותכנים נוספים.

או שנוכל להגשים את חלומות הניקיון על ידי מגבים לחדר נקי ? אני חושב שהתשובה היא כן.

זכויות יוצרים © 2024 Nanan Jiedao Electronic Material Co.,Ltd.. כל הזכויות שמורות. נתמך על ידי

רשת IPv6 נתמכת

חלק עליון

השאר הודעה

השאר הודעה

    אם אתה מעוניין במוצרים שלנו ורוצה לדעת פרטים נוספים, אנא השאר הודעה כאן, אנו נשיב לך בהקדם האפשרי.

  • #
  • #
  • #